擴散硅壓力變送器技術特點
瀏覽次數：2426發布日期：2012-12-21
1、 靈敏度高
擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辯率*。
2、 可靠性高
擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片zui大位移量在來微米數量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均*時間長，性能穩定，可靠性高。
3、 精度高
擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無機械動件連接轉換環節，所以不重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態精度很高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。
5、 抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
6、 度性能好
隨著集成工藝技術進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工補償已被激光調阻、計算機自動休整技術所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/℃數量級，工作溫度也大幅度提高。
7、 耐腐蝕性好
由于擴散硅材料本身優良的化學防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應各種介質。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結構工藝更易于實現。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產品，具有*良的性能價格比。
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